做好维护及准备工作保障洁净室一直正常运行

半导体和液晶制造厂对内部的温度、湿度和洁净度等有着及其特殊的要求,厂务工程部作为制造厂后勤单位,承担了对无尘室的水电气全年24小时正常运行的责任。友达光电苏州公司厂务工程部副理欧字林身感责任重大,“厂务是生产线生产设备的源头,任何一套系统出现问题,都会直接影响到生产,所以我们厂务工作不能有一点儿中断和故障。”
和舰科技（苏州）有限公司无尘室要求温度在23℃±0.5℃,湿度为45%±2.5%,生产区为0.1级,维修区为1000级。为了防止和减少污染物的进入,需要无尘室保持20Pa的正压,和舰厂务工程部一位经理介绍说。TFT-LCD后段组装厂对工作环境的要求虽然没有半导体和TFT前段高,但也需要无尘室设计。友达苏州公司洁净度为1万到10万级,温度为22℃±2℃,湿度为60%±7%。
为了保证这一环境,无尘室通常采用MAU+FFU的设计,即作为主送风的MAU将具有一定洁净等级和温湿度的风送到无尘室的天花板,由于风力已有减弱,再搭配小型的FFU再次送风,从而达到无尘室的温湿度和正压等要求。
维持无尘环境需要用到特殊的多层过滤网、密闭式马达和空调箱等,其中被两位采访者统一称为“主要源头”的是冷水机组。因为不论无尘室还是办公室空调系统都要用到冰水（冷冻水）,它是维持温湿度的最为关键的元素。和舰和友达同时选用了特灵空调（Trane）的冷水机组。
“当初选择冷水机组时经过了慎重地考虑。除了设备的性能和可靠性,还要考虑设备的运转费用和节能效果。再好的设备也会坏,因此售后服务是建厂时评估的一项重点。”和舰厂务经理说。半导体制造厂建成后通常需要使用10年以上,目前和舰一个月的电费就达600多万元,象冷水机组这样的大负载设备,夏天大约占整体耗电的20％。在这种情况下,节能和高效的设计就成为了用户需要重点考虑的问题。和舰厂务经理介绍：“Trane的产品不但高效、节能,还具有热回收的功能,它能将电机运转的发热收集,变相提供中温水。在冬天开机除湿的同时产生热水,也达到了节能的效果